【客户案例】某企业半导体制造中冷水机Chiller应用案例

半导体冷水机Chiller适用于工艺制程中准确控制反应腔室温度,是一种用于半导体制造过程中对设备或工艺进行冷却的装置
半导体制造业对生产环境的温度控制要求比较严格,微小的温度变化都可能对芯片的性能和可靠性产生重大影响。因此,选择一款有效、稳定的半导体冷水机Chiller显得尤为重要。
冠亚恒温可为其提供了定制化的半导体Chiller解决方案。该方案采用了制冷技术和智能控制系统,能够根据实际生产需求自动调节制冷量,确保生产环境始终保持在适合温度范围内。
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FLTZ变频系列半导体控温Chiller
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半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。
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FLTZ变频多通道系列Chiller
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半导体温控装置Chiller主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,产品有流体氟化液控温(最低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机(-120度)、直冷型制冷机组(-150度)等。公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树…
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Chiller换热型 系统无压缩机
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适用范围 多通道独立控温,可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等,采用独立的两套系统,根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷,或者采用ETCU无压缩机换热系统,系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等,可以有效减少设备尺寸,减少…
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已经是到最后一篇内容了!
目前冠亚恒温半导体冷水机Chiller按照不同产品类型,包括单通道和双通道,主要有FLTZ变频单通道系列(-100℃~+90℃)、FLTZ变频多通道系列(-45℃~+90℃)、无压缩机系列ETCU换热控温单元(+5℃-+90℃)
半导体行业投入大,制造工序繁多。冠亚恒温半导体冷水机Chiller帮助客户在每个环节进行严格的质量把控,提供高稳定性的温度控制,保障产品的稳定性和可靠性。
冠亚恒温拥有超过14年的温度控制经验和与各行业配套的经验,为客户提供标准化和定制化的温度控制产品,结合专业技术知识,确保满足半导体工艺中的苛刻温度要求。
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